- [檢測百科]分享:爆炸焊接法制備的5NAl和TU1-Cu靶材組織及性能2024年05月29日 12:51
- 濺射靶材是半導(dǎo)體芯片加工中的配線材料,由于集成電路設(shè)計復(fù)雜,金屬配線對導(dǎo)電性能要求很高[1-2],因此對真空環(huán)境下的濺射金屬的純度要求非常嚴(yán)苛,要求純度達(dá)到99.999%[3-4],本研究選用5NAl作為濺射材料。
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